Two-dimensional nanometer scale calibration based on one-dimensional gratings
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Tidsskrift | Appl.Phys.A |
Udgave nummer | 66 |
Sider (fra-til) | 831 |
Status | Udgivet - 1998 |
ID: 129205