NBI Cleanroom

Vi er specialiseret i nanoskala halvledere og metaller (herunder superledere) og faciliterer state-of-the-art forskning i kvanteteknologi. Vores udstyr kan benyttes til det meste forskning inden for faststoffysik.

NBI Cleanroom har et fastansat team som vedligeholder renrummet og udstyret og som har ansvar for oplæring og support af facilitetens brugere. Teamet består af tekniske eksperter som tilbyder konsultation inden for nanofabrikation og materialekarakterising og som kan hyres til visse fabrikation- og karakteriseringsopgaver.

Vores udvalg af nanofabrikationsudstyr omfatter blandt andet:

• ISO-7 renrum med 6 stinkskabe til kemisk processering.
• 3 elektronstrålelitografi systemer (30/100/125 kV).
• 3 e-beam metal tyndfilm deponeringssystemer med ion milling and DC/RF sputtersystemer.
• Direct-write laser system til fotolitografi.
• Molecular beam epitaxy system til tyndfilm deponering and syntese af nanoskala III-V halvleder krystaller med in-line e-beam metal tyndfilm deponeringssystem til deponering af bl.a. superledere.
• 2 atomic layer deposition systemer til deponering af oxider (AlOx/HfOx)

Vi tilbyder adgang til en række karakteriseringsudstyr som kan benyttes til hurtig feedback af processeringsresultaterne og dybdegående materialekarakterisering. Bl.a. har vi:

• Optiske mikroskoper
• 3D optisk profilometer
• Skanning elektron mikroskoper
• Transmission elektron mikroskoper (Talos F200i S/TEM)
• Atomic force mikroskop (AFM)
• Probe profilometer

Faciliteterne er tilgængelig for forskningaktiviteter som er kompatible med vores processer og som kan overholde vores regler for krydskomtaminering.

Eksempler på kompatible materialesystemer er:

• III-V halvledere
• Silicium
• Superledere
• Halvleder-superleder hybrider
• Fotoniske kredsløb.

Contact the cleanroom at: cleanroom@nbi.ku.dk

Cleanroom Lab Manager: Martin Saurbrey Bjergfelt – martin.bjergfelt@nbi.ku.dk