High-Definition Nanoimprint Stamp Fabrication by Atomic Layer Etching
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Tidsskrift | ACS Applied Nano Materials |
Vol/bind | 1 |
Udgave nummer | 6 |
Sider (fra-til) | 2476-2482 |
ISSN | 2574-0970 |
DOI | |
Status | Udgivet - 1 jun. 2018 |
ID: 216156091