Scatterometry for optimization of injection molded nanostructures at the fabrication line
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
Originalsprog | Engelsk |
---|---|
Tidsskrift | International Journal of Advanced Manufacturing Technology |
Vol/bind | 99 |
Udgave nummer | 9-12, SI |
Sider (fra-til) | 2669-2676 |
Antal sider | 8 |
ISSN | 0268-3768 |
DOI | |
Status | Udgivet - 1 dec. 2018 |
ID: 210112796