Laser ablation of high-aspect-ratio hole arrays in tungsten for X-ray applications

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

  • Chantal M. Silvestre
  • Jens H. Hemmingsen
  • Erik S. Dreier
  • Jan Kehres
  • Ole Hansen
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftMicroelectronic Engineering
Vol/bind209
Sider (fra-til)60-65
ISSN0167-9317
DOI
StatusUdgivet - 15 mar. 2019

ID: 234641063